В Зеленограде начнутся разработки ионного ускорителя для производства микросхем

Сейчас подобное оборудование выпускается лишь одним предприятием в мире, в России аналогичных технологий пока нет. Задача ученых — сделать в течение трех лет машины полностью отечественного производства. Для этого специалисты восстановят и запустят установку, основанную в Зеленограде больше 30 лет назад Институтом ядерной физики им. Г. И. Будкера Сибирского отделения Российской академии наук (ИЯФ СО РАН). Тогда ее не удалось ввести в эксплуатацию по причине развала СССР. Восстановление комплекса обойдется примерно в 500 млн руб.