ИХТЦ ТГУ в 2026г начнет поставки "чистого" HBr для микроэлектроники

ТОМСК, 3 мар – РИА Томск. Российские производители микроэлектроники в 2026 году впервые начнут получать бромид водорода (HBr) высокой чистоты отечественного производства; его будут производить в Томске на специализированной установке, созданной Инжиниринговым химико-технологическим центром (ИХТЦ) и Томским госуниверситетом (ТГУ), сообщает во вторник пресс-служба вуза.Уточняется, что в микроэлектронике сверхчистый бромистый водород применяется главным образом как технологический газ для плазмохимического (RIE/ICP) травления кремния...