В России создали безмасочный нанолитограф: что это

Установка позволяет создавать наноструктуры. Рассказываем, как она работает.

Ученые из Санкт-Петербургского политехнического университета Петра Великого (СПбПУ) разработали импортозамещающий технологический комплекс для создания наноструктур, необходимых для работы микроэлектронного оборудования. Об этом сообщает РИА Новости со ссылкой на Минобрнауки России.

Этот комплекс состоит из двух частей. Первая часть представляет собой промышленный образец установки безмасочной нанолитографии.