В России завершается разработка первой литографической системы

Зеленоградский нанотехнологический центр (ЗНТЦ) и компания «Планар» завершили разработку первой в России литографической системы, способной поддерживать технологические процессы класса 350 нм (0,35 микрона). Разработка велась при содействии белорусской компании «Планар». Машина прошла официальные проверки и сейчас проходит интеграционные испытания в Зеленограде.

Несмотря на символическое значение, конструкция системы устарела на несколько десятилетий, и...