Зеленоградский «Микрон» создаст сложнейший оптический сканер «Лучник» для производства микросхем

Зеленоградский завод «Микрон» (входит в группу «Элемент») выиграл тендер Минпромторга на разработку уникальной для России автоматизированной установки «Лучник» для измерения рассовмещения топологических слоев. Стоимость контракта составляет 1,56 млрд рублей. Оборудование является критически важным звеном в производстве микросхем, оно отвечает за идеальную точность наложения слоев при печати чипов на кремниевых пластинах. Цель проекта — создать отечественный аналог американской установки ARCHER 10 XT от компании KLA Tencor.