Источники EUF-излучения для современных экономичных литографов

На заседаниях секции № 12.1 «Технологии оптоэлектроники и фотоники. Опто- и фотоэлектроника» форума «Микроэлектроника 2025» ведущие учёные и инженеры представят новейшие достижения в этой области и перспективы их промышленного внедрения.