В шаге от 130 нм литографов: в России готовят первое отечественное производство эксимерных лазеров

После 2026 года в России должно стартовать производство отечественных эксимерных лазеров для литографии. По словам замминистра промышленности Василия Шпака, который и анонсировал новое производство, это приблизит Россию к созданию литографов на 130 нм. Как уточняет телеграм-канал "МашТех", параллельно разрабатываются материалы и проводятся работы по установкам 90 нм и 65 нм.